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                  稀有金屬制品專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家

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                  鈦靶價(jià)格

                  寶雞飛騰金屬材料生產(chǎn)的鈦靶質(zhì)量好,鈦靶價(jià)格優(yōu)惠,歡迎前來(lái)咨詢(xún)。鈦靶材的主要性能要求:純度純度是靶材的主要性能指標之一,因為…

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                  寶雞飛騰金屬材料生產(chǎn)的鈦靶質(zhì)量好,鈦靶價(jià)格優(yōu)惠,歡迎前來(lái)咨詢(xún)。

                  鈦靶價(jià)格


                  鈦靶材的主要性能要求:

                  純度

                  純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過(guò)在實(shí)際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著(zhù)微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線(xiàn)寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿(mǎn)足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線(xiàn)條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

                  雜質(zhì)含量

                  靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

                  密度

                  為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著(zhù)薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標之一。

                  鈦靶


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